Kosmonauta? Nie...

[Alek]

to napylarka. Zrobiona z tego, co było pod ręką. Dlatego wygląda bardziej jak kosmonauta niż urządzenie próżniowe.

[Alek]

Na następnych zdjęciach pokazuję proces napylania oraz już napylone miedzią i tytanem szkiełka.

[Bobiq]

Bardzo ładna!

Jako opcję możesz wstawić magnetron:

https://youtu.be/c4Sic1DRXJI

[Alek]

Rozważam to. Jest to dobre przy nanoszeniu takich materiałów, jak Mo, W, ITO. Rozważam też dodanie wielu udogodnień: obrotu stolika z napylaną powierzchnią, dodanie jeszcze jednego parownika, pomiaru grubości warstwy czy też wzbudnika indukcyjnego do lutowania w próżni.
Nota bene czeka jeszcze na uruchomienie układ próżniowy trzykrotnie większy ("pożyczyłem" zeń na razie blok sterowania). Do tego drugiego mam klosz chłodzony wodą, w sam raz dobry na piec próżniowy o objętości komory około 20 litrów.

[Bobiq]

Obrót stolika na pewno się przyda. Jak chcesz zrealizować pomiar grubości warstwy?

[Alek]

Na kwarcu, dziś wszyscy tak robią.

[Bobiq]

Ok, czyli mikrowaga kwarcowa.
Trzeba pamiętać aby mikrowaga znajdowała się na tej samej wysokości co próbka, należy też unikać efektu przysłaniania (shadowing), który zakłóca pomiar.

[Alek]

Po głębszej analizie uznałem, że wyrzutnię magnetronową umieszczę w innej, mniejszej nieco komorze, wykonanej zresztą ze starego zaworu klapowego od PDO800. Zmiana ta podyktowana jest faktem, że uniknę w ten sposób smutnej konieczności chłodzenia magnesu. W zasadzie wszystkie podstawowe części do budowy takiego układu mam. Pozostaje wspawać przepust wysokiego napięcia we flanszę KF25 i sporządzić targety. Prawdopodobnie układ będę pędził z samej pompy obrotowej, bo i tak będę musiał dozować gaz (argon dla metali, tlen + szlachetny dla ITO) do komory.